Excimer Laser_Compex205 System
准分子激光器参数
波长
248nm
单脉冲能量
750 mJ
最大重复频率
50Hz
平均功率
33W
能量稳定水平(1 sigma)
≤0.75 %
脉冲宽度(FWHM)
25 ns
光斑尺寸(V×H, FWHM)
24×10 mm2
光束发散角(V×H, FWHM)
≤3×1mrad2
光斑指向稳定性(1 sigma)
≤50rad
冷却方式
水冷
重量
350Kg
工作电压、电流
230V±10%, 16A